精密模具配件的表面處理技術(shù)，是通過表面涂覆、表面改性或復(fù)合處理技術(shù)，改變精密模具配件表面的形態(tài)、化學(xué)成分、組織結(jié)構(gòu)和應(yīng)力狀態(tài)，以獲得所需表面性能的系統(tǒng)工程。滲氮工藝有氣體滲氮、離子滲氮、液體滲氮等方式，每一種滲氮方式中，都有若干種滲氮技術(shù)，可以適應(yīng)不同鋼種不同工件的要求。從表面處理的方式上，又可分為：化學(xué)方法、物理方法、物理化學(xué)方法和機械方法。雖然旨在提高精密模具配件表面性能的新處理技術(shù)不斷涌現(xiàn)，但在精密模具配件制造中應(yīng)用較多的主要是滲氮、滲碳和硬化膜沉積。由于滲氮技術(shù)可形成優(yōu)良性能的表面，并且滲氮工藝與精密模具配件鋼的淬火工藝有良好的協(xié)調(diào)性，同時滲氮溫度低，滲氮后不需激烈冷卻，精密模具配件的變形極小，因此精密模具配件的表面強化是采用滲氮技術(shù)較早，也是應(yīng)用最廣泛的。
精密模具配件在工作中除了要求具有足夠高的強度和韌性外，其表面性能對精密模具配件的工作性能和使用壽命至關(guān)重要。這些性能的改善，單純依賴基體材料的改進和提高是非常有限的，也是不經(jīng)濟的，而通過表面處理技術(shù)，往往可以收到事半功倍的效果，這也正是表面處理技術(shù)得到迅速發(fā)展的原因。這些表面性能指：耐磨損性能、耐腐蝕性能、摩擦系數(shù)、疲勞性能等。
精密模具配件滲碳的目的，主要是為了提高精密模具配件的整體強韌性，即精密模具配件的工作表面具有高的強度和耐磨性，由此引入的技術(shù)思路是，用較低級的材料，即通過滲碳淬火來代替較高級別的材料，從而降低制造成本。硬化膜沉積技術(shù)最早在工具(刀具、刃具、量具等)上應(yīng)用，效果極佳，多種刀具已將涂覆硬化膜作為標(biāo)準(zhǔn)工藝。硬化膜沉積技術(shù)目前較成熟的是CVD、PVD。為了增加膜層工件表面的結(jié)合強度，現(xiàn)在發(fā)展了多種增強型CVD、PVD技術(shù)。精密模具配件自上個世紀(jì)80年代開始采用涂覆硬化膜技術(shù)。目前的技術(shù)條件下，硬化膜沉積技術(shù)(主要是設(shè)備)的成本較高，仍然只在一些精密、長壽命精密模具配件上應(yīng)用，如果采用建立熱處理中心的方式，則涂覆硬化膜的成本會大大降低，更多的精密模具配件如果采用這一技術(shù)，可以整體提高我國的精密模具配件制造水平。
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